罗茨真空机组的特点是:1.转子与泵腔、转子与转子之间有一定的间隙,互不接触,不需要用油润滑。2.转子具有良好的几何对称性,可以提高转速,从而能够制造出结构紧凑的大抽速泵来。3.泵工作时振动小,容积大,容积利用系数=0.5左右。4.在泵腔内并不发生像机械真空泵那样的压缩现象,因此它不需要排气阀。也正因如此,可抽除可凝性蒸汽。5.启动快,能够在短时间内达到极限真空。功率小,运转维护费用低。6.罗茨泵在很宽的压力范围内(1000P a~1P a)有很大的抽速,能迅速排出突然放出的气体,弥补了扩散泵和油封机械泵在(1000Pa~1Pa)时抽速都很小的缺陷。因此,它适合作增压泵用。